控制溫濕度在無(wú)塵清潔工程中的重要性,為什么要控制清潔項(xiàng)目的溫濕度呢?很多朋友都不太清楚,這里的編輯給大家介紹一下,控制溫濕度的主要原因是為了防止污染,溫度太高,導(dǎo)致人出汗,一旦出汗,就會(huì)污染產(chǎn)品,所以溫度控制是非常重要的。濕度過(guò)大也會(huì)造成很多問(wèn)題。讓我們?cè)敿?xì)解釋一下。
當(dāng)相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí),冷卻水管壁會(huì)結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,會(huì)造成各種事故。 相對(duì)濕度50%時(shí)容易生銹。 此外,當(dāng)濕度過(guò)高時(shí),硅片表面的灰塵會(huì)被空氣中的水分子化學(xué)吸附在表面。 相對(duì)濕度越高,附著力越難去除,但當(dāng)相對(duì)濕度小于30%時(shí),由于靜電力的作用,粒子容易吸附在表面,大量半導(dǎo)體器件容易擊穿。 用于硅片生產(chǎn)*良好溫度范圍為35-45。
我國(guó)明確規(guī)定潔凈室內(nèi)的空氣壓力:
對(duì)于大多數(shù)清潔空間,為了防止外部污染的入侵,必須保持內(nèi)部壓力(靜壓)高于外部壓力(靜壓)。維持壓差一般應(yīng)遵循以下原則:
1.清潔空間的壓力高于不清潔空間的壓力。
2.高潔凈度空間的壓力高于低潔凈度空間的壓力。
3.潔凈室之間的門應(yīng)向高度清潔的房間敞開。