工業(yè)生產(chǎn)的自然環(huán)境濕度是影響空氣環(huán)境質(zhì)量的重要因素。很多工業(yè)產(chǎn)品必須在規(guī)定濕度下才能生產(chǎn)出來。無塵車間的溫濕度既要滿足工藝生產(chǎn)要求，又要滿足人的舒適度，溫濕度等級根據(jù)潔凈度的要求進(jìn)行調(diào)整。工業(yè)園區(qū)電子廠房凈化工程中的無塵車間是如何進(jìn)行調(diào)控的？

就蘇州工業(yè)園區(qū)電子廠房凈化工程而言，在大規(guī)模集成電路進(jìn)行生產(chǎn)光刻曝光過程中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢Ξa(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過25度?！穸冗^高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時(shí)，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時(shí)易生銹。

工業(yè)園區(qū)電子廠房凈化工程中的無塵車間是如何進(jìn)行調(diào)控的？無塵車間都要通過保持室內(nèi)靜壓高于非潔凈區(qū)的靜壓，來防止污染，內(nèi)外壓力差需要保持：潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力；相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級別高的房間；潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。