所謂凈化工程，就是控制產(chǎn)品(如硅片等)接觸到的空氣的清潔度和溫濕度，使產(chǎn)品能在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)和制造。這個(gè)空間的設(shè)計(jì)和建造過(guò)程可以稱為凈化工程。凈化工程可分為隨機(jī)流(TurbulentFlow)和層流(層流)。

 

1.隨機(jī)流動(dòng)

 

空氣從空調(diào)箱通過(guò)空調(diào)箱和潔凈室空氣過(guò)濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈室，并由兩側(cè)的潔凈室隔墻或高架地板返回空氣。"氣流不是線性運(yùn)動(dòng)的，處于不規(guī)則的湍流或渦流狀態(tài)。適用于1000~100000級(jí)潔凈室.優(yōu)點(diǎn)：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，系統(tǒng)建設(shè)成本低，擴(kuò)大潔凈室相對(duì)容易，在一些特殊用途場(chǎng)所，可采用無(wú)塵工作臺(tái)來(lái)提高潔凈室的檔次。缺點(diǎn)：湍流引起的細(xì)小粉塵不易在室內(nèi)飄浮，容易污染加工產(chǎn)品。此外，如果系統(tǒng)停止運(yùn)行并重新啟動(dòng)，通常需要很長(zhǎng)時(shí)間才能實(shí)現(xiàn)需求的清潔。

 

2.層流

 

層流氣流運(yùn)動(dòng)成一條均勻的直線，空氣通過(guò)100%的過(guò)濾器進(jìn)入房間，并通過(guò)高架地板或兩側(cè)隔板返回到空氣中。這種類型適合在較高環(huán)境中使用的潔凈室等級(jí)，其潔凈室等級(jí)一般為1~100級(jí)?？煞譃閮煞N類型：

 

主要研究結(jié)果如下：(1)水平層流：水平氣流從過(guò)濾器向一個(gè)方向吹出，從對(duì)面壁面的回風(fēng)系統(tǒng)返回空氣，粉塵沿風(fēng)向在室外排放，下流側(cè)的污染一般更為嚴(yán)重。Www.jnjk.com層流罩

 

優(yōu)點(diǎn)：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，運(yùn)行后可在短時(shí)間內(nèi)穩(wěn)定。缺點(diǎn)：施工成本高于隨機(jī)流，室內(nèi)空間不易擴(kuò)大。

 

(2)垂直層流：房間的天花板完全覆蓋超低功率濾清器，空氣從上至下吹氣，可獲得較高的清潔度。過(guò)程中產(chǎn)生的灰塵或工作人員可在室外迅速排出，而不影響其他工作區(qū)域。

 

優(yōu)點(diǎn)：易于管理，能在運(yùn)行開(kāi)始后的短時(shí)間內(nèi)達(dá)到穩(wěn)定狀態(tài)，不容易受到操作狀態(tài)或操作人員的影響。隨機(jī)流缺點(diǎn)：施工成本高，彈性使用空間大，吊架占用空間大，維修更換濾清器比較麻煩。復(fù)合式(MixedType)：復(fù)合式是將隨機(jī)流和層流相結(jié)合，可以提供局部的超潔凈空氣。