凈化車間如何防止微粒污染？應遵循以下四項基本原則：

 

I.不帶進來

 

清潔車間不攜帶微粒的方法如下：

 

1)在操作員進入清潔車間之前，機臺和零件應在進入前進行清洗。

 

(二)進入清潔車間的人，應當穿著無塵衣服、帽子、鞋、手套、口罩等，在更衣室內(nèi)不含灰塵，不產(chǎn)生含有特殊導電纖維材料的靜電。

 

3)通過空氣淋浴房，用高速清潔空氣除去附著在衣服表面的微粒后，我們可以進入清潔車間。

 

4)在將機器和材料帶入清潔車間之前，應盡可能將機器和材料以密封狀態(tài)帶入清潔車間，然后在清潔車間前廳維護后用超純水擦拭，然后吹入風淋室后進入清潔車間。

 

5)清潔工場內(nèi)須佩戴封閉頭盔，腰部須佩帶帶過濾器的小風扇。

 

二、未制造

 

在控制凈化車間內(nèi)的微粒排放量的同時，也要控制第二大污染源--制造機械產(chǎn)生的粉塵。當物體移動時，摩擦和接觸剝落會導致粉塵，在移動時也會產(chǎn)生微粒，因此，為了將粉塵控制在最低限度，應采取以下對策：

 

1)減少接觸剝落粉塵的作用形式

 

2)使用磨損小、灰塵少的材料。

 

3.使用含小灰塵的潤滑油

 

4)將氣浮的非接觸工作原理應用于機械上。

 

三、非保留

 

如果"不攜帶"技術(shù)能得到充分實施，潔凈室的清潔就可以保持。然而，在現(xiàn)實中，由于人員、物品的頻繁進出和制造機械的限制，大型清洗車間不可能實現(xiàn)完全的清潔。因此，在過濾器中快速應用"無保留"技術(shù)以去除已發(fā)生的粒子是非常重要的。通常，根據(jù)重力和靜電吸附力，已經(jīng)發(fā)生的粒子會停留在周圍物體的表面。突然的振動和不穩(wěn)定的氣流會使這些積存的粒子在空氣中再次上升，增加主要微粒污染的風險。

 

在最高級別的清潔車間，完全將微粒從天花板上移至地面的空氣必須以0.3至0.4m/s的速度垂直向下流動，這是室內(nèi)空氣和完全過濾空氣在大約10秒內(nèi)完全交換的數(shù)值。"同時，還必須精確控制氣流。特別是要保證氣流的流動不受阻礙，因為如果循環(huán)通道有障礙物，很容易產(chǎn)生空氣旋流，形成空氣滯留區(qū)，使附近的顆粒在清洗車間長時間內(nèi)不能迅速清除和漂移，部分顆粒會附著在周圍的機械設備表面，造成污染。

 

控制氣流可以防止粒子的積聚，但不可能阻止粒子在帶電表面的積聚。

 

將懸浮微粒集中在潔凈車間，使用高性能濾清器可輕易達到零水平，實際生產(chǎn)現(xiàn)場因作業(yè)人員、機器、周圍機械粉塵及接觸部分的粉塵輸送時，在制造過程中顆粒數(shù)量較少，造成部件清洗表面顆粒污染。

 

四.排除/移除

 

在機器中不能避免產(chǎn)生大量的微粒，為了避免在清潔車間產(chǎn)生微粒，所以外部排氣的作用也是直接的，即所謂的局部排氣。針對廢氣排放的對策如下：由于引入相同數(shù)量的外部氣體是必要的，但同時也會伴隨著大量的能源消耗。因此，這不能說是一個絕對理想的反應。因此，在盡量減少排氣量的同時，不僅要把廢氣排放到干凈的室外，而且要采取將顆粒移到潔凈車間后返回空氣的對策。