進(jìn)入現(xiàn)場(chǎng)前，制造商應(yīng)按照規(guī)定(DOP試驗(yàn)、NaCl試驗(yàn)、噴油試驗(yàn)等試驗(yàn)方法)進(jìn)行性能試驗(yàn)，并提供合格證書(包括性能試驗(yàn)結(jié)果)。

 

對(duì)于5級(jí)以上(100級(jí))以上無塵房間的高效過濾器和超高效率過濾器，應(yīng)在現(xiàn)場(chǎng)再次進(jìn)行高效過濾體的泄漏試驗(yàn)及其正確的安裝狀態(tài)。該方法還可用于6級(jí)及以下生物潔凈室的滲漏檢測(cè)。在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的超潔凈技術(shù)(0.1μm，1級(jí))中，由于新鮮風(fēng)量往往僅為循環(huán)風(fēng)量的幾%，且上層空氣被稀釋為6級(jí)(1000級(jí))，因此有必要重新考慮在這種情況下使用DOP檢漏試驗(yàn)的問題。

 

1.測(cè)試要求

 

一般采用粒子計(jì)數(shù)法檢測(cè)泄漏，檢測(cè)到的高效過濾器必須檢測(cè)到風(fēng)量并運(yùn)行在設(shè)計(jì)風(fēng)速的80%至120%之間，許多設(shè)計(jì)風(fēng)量小于過濾器額定風(fēng)量的80%，因?yàn)檫^濾器的漏風(fēng)比在低風(fēng)速下會(huì)增大，數(shù)據(jù)是安全的，有時(shí)也不需要增加風(fēng)量。

 

檢測(cè)到的高效過濾器空氣側(cè)顆粒濃度滿足以下要求。

 

控制粒徑≥0.5μm的濃度，必須大于或等于3.5x104pc/L

 

對(duì)于控制粒徑≤0.5μm的濃度，必須大于或等于3.5x106~107 pc/L。

 

2.檢測(cè)方法

 

采用掃描法對(duì)高效過濾器的安裝縫和主斷面進(jìn)行檢測(cè)，檢測(cè)點(diǎn)距被測(cè)表面20×30 mm，探頭以5~20 mm/s的速度移動(dòng)，對(duì)被測(cè)過濾器的全斷面、密封頭和安裝框架進(jìn)行掃描，顆粒計(jì)數(shù)器的最小采樣量大于1L/min。

 

3.評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)：

 

當(dāng)被測(cè)過濾器空氣側(cè)的泄漏濃度轉(zhuǎn)化為穿透率時(shí)，高效過濾器不應(yīng)超過工廠合格穿透率的兩倍，D級(jí)超高效過濾器不應(yīng)是工廠合格穿透率的3倍。